第一百三十九章晶圆切割裂纹异常
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阳光正好，微风不燥。
姜华迈着六亲不认的脚步，径直走到了吸烟区，朝着洁白的墙壁一靠，用牙齿咬了一根香烟，将双手插在了裤兜里，脑袋不时摆动一下，眼睛东瞅瞅西望望，一副痞帅的样子。
这个工厂队伍最庞大的是生产部，作为前道主管，他可是生产部的老二。
老二就要有老二的样子，最近他无形之中养成了走路的时候六亲不认的习惯，抽烟的时候也懒得用手，就用牙齿咬着一直抽，香烟烧到嘴巴边了，他就往后拉一下嘴唇，露出一排已经被熏黄了的牙齿。
“老同学，有啥事呢？”姜华歪着脑袋问道。
“昨天安排工程技术人员用假片做工艺验证，也不知道情况怎样了？”辛佟用手指弹了弹烟灰说道。
“等会咱们一起去车间看看！”
“我隐约感觉这个项目并不简单，摩托罗拉的项目，我们千万不能掉以轻心。”辛佟抬起头仰望着蔚蓝的天空说道。
“下一周客户来晶圆了，是驴子是马，拉出来熘熘就知道了。”
抽完烟，二人径直来到了晶圆减薄车间。
现场只有一名工艺技术员在场，姜华一把就将他抓住了：“昨天安排你们工艺做验证，你们有做过150μm减薄验证吗？”
“姜老大，我们昨天做过一片，减薄没有发现问题，不过听说切割的时候出现了裂纹，罗高工找到谢老大，他们正在讨论问题的对策。”
“是吗？”辛佟心中一紧。
以前车间减薄只做到过220μm，不过那是做给消费类电子产品的，MPC5200是车规产品，对可靠性要求高，越薄就越容易散热，没有想到150μm减薄出问题了。
还好，这只是假片验证，要是直接拿客户的实验片验证，估计很快就会把实验片用完了，重新申请实验片走流程跑物流起码要耽搁一个月时间。
“走，谢工肯定在工程部，上工程部找他去！”姜华说道。
辛佟点了点头。
工程部会议室里，罗高工果然正在讨论技术问题。
“辛经理，你来得正是时候，我们正在讨论摩托罗拉项目切割裂纹的事情。”罗高工冲着辛佟招了招手。
辛佟点了点头，找了一个位置坐了下来。
“我们已经改成两刀切割了，切割对芯片的应力已经降低到最低水平了，没有想到圆片还是出现了裂纹。”WS天王谢剑风情绪有点失落。
“谢工，两刀切割的工艺成熟吗？”罗高工问道。
“我们用这个工艺切割220μm的晶圆，没有一点问题，对比实验表明还是跟晶圆的厚度有关，跟切割工艺无关。”谢剑风说道。
辛佟抬头看了他一眼，心想这谢工功课做得还是挺扎实的，不愧是天王级别的技术高手。
“这么说来，应力还是来自于减薄工序，那么我想问你，你有测量过减薄后晶圆的翘曲度吗？”罗高工问道。
辛佟投过去崇敬的目光，罗高工的逻辑推理能力真是太强大了，因为晶圆产生应力后肯定会有蛛丝马迹可查的，轻微变形肯定跑不掉。
“老大，我们测量过的，圆片翘曲度差不多到了400μm！”谢工回答道。
辛佟暗自感叹，真没有想到谢工也考虑到减薄的应力了啊，天王就是天王，不过400μm是不是有点大了？
“220μm晶圆减薄后的翘曲度你量过吗？”辛佟抬起头问道。
“不瞒你说，220μm的晶圆我们也量测过，翘曲度在200μm左右！”谢工回答道。
这么说问题的根源就是晶圆的翘曲度了！
如何降低晶圆减薄之后的翘曲度呢？
辛佟灵光一闪，突然想起了斯米克晶圆厂的张凯峻，这个毕业于青华大学的晶圆工程师肯定知道。
他掏出了波导手机，手指点击了几下，给张凯峻发了一个短消息。
“这么分析下来，晶圆切割裂纹的问题已经锁定到了减薄工序！”罗高工说道。
“是的！”谢工点了点头。
“减薄工序怎么会带来这么大的应力啊？”罗高工反问道。
“这个回去还要从4M1E的角度排查一下！”谢工回答道。
“谢工，你们减薄使用的磨轮金刚砂颗粒直径是多少？”辛佟抬起头来问道。
金刚石颗粒直径？这问题好专业啊！辛佟没有干过减薄，他是怎么知道的？罗高工无比惊讶，难道辛佟是一个工艺天才？
姜华也非常震惊，老同学跟天王级别的高手讨论起工艺问题，竟然一点儿也不落下风啊。
“目前我们减薄分两次研磨，粗磨使用325#的磨轮，精磨使用900#的磨轮，换算下来，粗磨的金刚砂颗粒直径为44μm，精磨的金刚砂颗粒直径为15μm。”谢工对自己管控工序的工艺了如指掌。
辛佟“喔”了一下，手指在手机上一阵翻飞，将信息发给了张凯峻。
“辛经理问得对，我也觉得减薄的问题可能跟磨轮的选择有关！”经过辛佟的点拨，罗高工好像得到了某种启示一般。
“我也这样怀疑！”谢剑风说道。
“粗磨选用325#的磨轮，没有错，不过粗磨过后形成的损伤层大约为20μm左右，粗糙度约为1.5μm，精磨使用900#的磨轮，其损伤层大约为5μm左右，粗糙度约为0.5μm，这样的高低不平纹路，会造成应力集中，使后续工艺划片产生裂纹，我建议精磨采用2500#磨轮试试，假片做完之后测量一下翘曲度，如果翘曲度小于200μm，你们安排切割验证。”辛佟非常自信地说道。
这个辛佟真是太逆天了，对减薄工序的了解绝对在谢剑风之上啊，罗高工听了直点头，说道：“很好！”
“好的，辛经理，我们按照你的要求再做一些假片验证！”谢剑风点了点头。
他之前跟辛佟没有交集，不过听说过这个人，总觉得辛佟升职太快了，真没有想到他竟然如此专业，今日一见，佩服得五体投地。
看着工程部老大和WS天王对辛佟的分析连连点头，姜华也惊呆了，这么说老同学的本领已经超过这些顶级高手了？
关键是他都没有在晶圆减薄工序呆过一天啊！
昨天去减薄看了一眼，他就无师自通了？
从会议室里出来，姜华拉住了辛佟，忍不住问道：“老同学，你不是干键合出身的吗？怎么对减薄也这么精通？”
辛佟笑了笑，要不是刚才咨询张凯峻，他也一头雾水。
不过，他不想将这件事告诉姜华，就随便忽悠道：“键合工序是王者工序，你干了键合再看其他工序，都很Low了。”
不是说隔行如隔山吗？
老实说他姜华统管FOL所有生产工序，也看过减薄、切割、装片和键合，发现不同的工序之间差异其实还挺大的。
“是吗？”姜华心中是将信将疑。
姜华迈着六亲不认的脚步，径直走到了吸烟区，朝着洁白的墙壁一靠，用牙齿咬了一根香烟，将双手插在了裤兜里，脑袋不时摆动一下，眼睛东瞅瞅西望望，一副痞帅的样子。
这个工厂队伍最庞大的是生产部，作为前道主管，他可是生产部的老二。
老二就要有老二的样子，最近他无形之中养成了走路的时候六亲不认的习惯，抽烟的时候也懒得用手，就用牙齿咬着一直抽，香烟烧到嘴巴边了，他就往后拉一下嘴唇，露出一排已经被熏黄了的牙齿。
“老同学，有啥事呢？”姜华歪着脑袋问道。
“昨天安排工程技术人员用假片做工艺验证，也不知道情况怎样了？”辛佟用手指弹了弹烟灰说道。
“等会咱们一起去车间看看！”
“我隐约感觉这个项目并不简单，摩托罗拉的项目，我们千万不能掉以轻心。”辛佟抬起头仰望着蔚蓝的天空说道。
“下一周客户来晶圆了，是驴子是马，拉出来熘熘就知道了。”
抽完烟，二人径直来到了晶圆减薄车间。
现场只有一名工艺技术员在场，姜华一把就将他抓住了：“昨天安排你们工艺做验证，你们有做过150μm减薄验证吗？”
“姜老大，我们昨天做过一片，减薄没有发现问题，不过听说切割的时候出现了裂纹，罗高工找到谢老大，他们正在讨论问题的对策。”
“是吗？”辛佟心中一紧。
以前车间减薄只做到过220μm，不过那是做给消费类电子产品的，MPC5200是车规产品，对可靠性要求高，越薄就越容易散热，没有想到150μm减薄出问题了。
还好，这只是假片验证，要是直接拿客户的实验片验证，估计很快就会把实验片用完了，重新申请实验片走流程跑物流起码要耽搁一个月时间。
“走，谢工肯定在工程部，上工程部找他去！”姜华说道。
辛佟点了点头。
工程部会议室里，罗高工果然正在讨论技术问题。
“辛经理，你来得正是时候，我们正在讨论摩托罗拉项目切割裂纹的事情。”罗高工冲着辛佟招了招手。
辛佟点了点头，找了一个位置坐了下来。
“我们已经改成两刀切割了，切割对芯片的应力已经降低到最低水平了，没有想到圆片还是出现了裂纹。”WS天王谢剑风情绪有点失落。
“谢工，两刀切割的工艺成熟吗？”罗高工问道。
“我们用这个工艺切割220μm的晶圆，没有一点问题，对比实验表明还是跟晶圆的厚度有关，跟切割工艺无关。”谢剑风说道。
辛佟抬头看了他一眼，心想这谢工功课做得还是挺扎实的，不愧是天王级别的技术高手。
“这么说来，应力还是来自于减薄工序，那么我想问你，你有测量过减薄后晶圆的翘曲度吗？”罗高工问道。
辛佟投过去崇敬的目光，罗高工的逻辑推理能力真是太强大了，因为晶圆产生应力后肯定会有蛛丝马迹可查的，轻微变形肯定跑不掉。
“老大，我们测量过的，圆片翘曲度差不多到了400μm！”谢工回答道。
辛佟暗自感叹，真没有想到谢工也考虑到减薄的应力了啊，天王就是天王，不过400μm是不是有点大了？
“220μm晶圆减薄后的翘曲度你量过吗？”辛佟抬起头问道。
“不瞒你说，220μm的晶圆我们也量测过，翘曲度在200μm左右！”谢工回答道。
这么说问题的根源就是晶圆的翘曲度了！
如何降低晶圆减薄之后的翘曲度呢？
辛佟灵光一闪，突然想起了斯米克晶圆厂的张凯峻，这个毕业于青华大学的晶圆工程师肯定知道。
他掏出了波导手机，手指点击了几下，给张凯峻发了一个短消息。
“这么分析下来，晶圆切割裂纹的问题已经锁定到了减薄工序！”罗高工说道。
“是的！”谢工点了点头。
“减薄工序怎么会带来这么大的应力啊？”罗高工反问道。
“这个回去还要从4M1E的角度排查一下！”谢工回答道。
“谢工，你们减薄使用的磨轮金刚砂颗粒直径是多少？”辛佟抬起头来问道。
金刚石颗粒直径？这问题好专业啊！辛佟没有干过减薄，他是怎么知道的？罗高工无比惊讶，难道辛佟是一个工艺天才？
姜华也非常震惊，老同学跟天王级别的高手讨论起工艺问题，竟然一点儿也不落下风啊。
“目前我们减薄分两次研磨，粗磨使用325#的磨轮，精磨使用900#的磨轮，换算下来，粗磨的金刚砂颗粒直径为44μm，精磨的金刚砂颗粒直径为15μm。”谢工对自己管控工序的工艺了如指掌。
辛佟“喔”了一下，手指在手机上一阵翻飞，将信息发给了张凯峻。
“辛经理问得对，我也觉得减薄的问题可能跟磨轮的选择有关！”经过辛佟的点拨，罗高工好像得到了某种启示一般。
“我也这样怀疑！”谢剑风说道。
“粗磨选用325#的磨轮，没有错，不过粗磨过后形成的损伤层大约为20μm左右，粗糙度约为1.5μm，精磨使用900#的磨轮，其损伤层大约为5μm左右，粗糙度约为0.5μm，这样的高低不平纹路，会造成应力集中，使后续工艺划片产生裂纹，我建议精磨采用2500#磨轮试试，假片做完之后测量一下翘曲度，如果翘曲度小于200μm，你们安排切割验证。”辛佟非常自信地说道。
这个辛佟真是太逆天了，对减薄工序的了解绝对在谢剑风之上啊，罗高工听了直点头，说道：“很好！”
“好的，辛经理，我们按照你的要求再做一些假片验证！”谢剑风点了点头。
他之前跟辛佟没有交集，不过听说过这个人，总觉得辛佟升职太快了，真没有想到他竟然如此专业，今日一见，佩服得五体投地。
看着工程部老大和WS天王对辛佟的分析连连点头，姜华也惊呆了，这么说老同学的本领已经超过这些顶级高手了？
关键是他都没有在晶圆减薄工序呆过一天啊！
昨天去减薄看了一眼，他就无师自通了？
从会议室里出来，姜华拉住了辛佟，忍不住问道：“老同学，你不是干键合出身的吗？怎么对减薄也这么精通？”
辛佟笑了笑，要不是刚才咨询张凯峻，他也一头雾水。
不过，他不想将这件事告诉姜华，就随便忽悠道：“键合工序是王者工序，你干了键合再看其他工序，都很Low了。”
不是说隔行如隔山吗？
老实说他姜华统管FOL所有生产工序，也看过减薄、切割、装片和键合，发现不同的工序之间差异其实还挺大的。
“是吗？”姜华心中是将信将疑。